氬氣凈化

富氬氣經(jīng)壓縮后進(jìn)入PSA-Ar工段中正處于吸附狀態(tài)的吸附塔內(nèi)，通過吸附的方式，將CO2、N2和部分O2等雜質(zhì)被吸附下來，未被吸附的氬氣作為產(chǎn)品從塔頂流出，得到99.99~99.999純度的Ar。